圧力センサを選択する際には、その包括的な精度を考慮する必要があります。圧力センサの精度にどのような影響がありますか?実際、センサーエラーを引き起こす要因はたくさんあります。以下では、センサーの初期誤差である4つの避けられない誤差に注意を払います。
第1のオフセット誤差:圧力センサの垂直オフセットは圧力範囲全体にわたって一定に保たれるため、探触子の広がりとレーザ調整補正の変化によりオフセット誤差が生じます。
2つ目は感度誤差で、誤差の大きさは圧力に比例します。デバイスの感度が標準値よりも高い場合、感度誤差は圧力の増加関数になります。感度が標準値より低い場合、感度誤差は圧力の減少関数になります。この誤差の原因は、拡散プロセスの変化です。
3つ目は直線性誤差で、圧力センサの初期誤差にはほとんど影響しない要因です。誤差の原因はシリコンチップの物理的な非直線性ですが、アンプを搭載したセンサの場合は、アンプの非直線性も含める必要があります。線形誤差曲線は、凹曲線または凸曲線ロードセルであり得る。
後者はヒステリシス誤差です:ほとんどの場合、シリコンチップは高い機械的剛性を有するため、圧力センサのヒステリシス誤差は完全に無視できます。一般に、圧力が大きく変化するときに考慮する必要があるのは、ヒステリシス誤差のみです。
圧力センサの4つの誤差は避けられません。高精度な生産設備を選択し、ハイテクを使用してこれらの誤差を低減し、工場で特定の誤差校正を実行して誤差を可能な限り低減することしかできません。お客様のニーズにお応えするため。
