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圧力センサーの動作原理は何ですか?

Mar 11, 2022

圧力センサーの動作原理は何ですか?

圧力センサーはどこにでもありますが、ほとんどの人はそれに気づきません。産業用油圧システムや医療用人工呼吸器から電気自動車やスマート水道システムに至るまで、圧力センサーは重要なプロセスを毎秒静かに監視し、制御します。

オートメーションが業界全体で拡大し続けるにつれて、圧力センサーがどのように機能するかを理解することは、エンジニア、機器メーカー、産業バイヤーにとってますます重要になっています。

簡単に言えば、圧力センサーは物理的な圧力を、機械や制御システムが理解できる電気信号に変換します。ただし、圧力センサーの実際の動作原理は、使用するセンシング技術によって大きく異なる場合があります。

一部の圧力センサーは超高圧油圧機械用に設計されています。また、他の圧力センサーは半導体装置内の微小な真空変化を測定できるほど高感度です。{0}各テクノロジーには、独自の利点、制限、および理想的なアプリケーション シナリオがあります。

圧力センサーとは何ですか?

圧力センサーは、気体または液体の圧力を測定するために使用される電子デバイスです。センサーは圧力変化を検出し、電圧、電流、デジタル信号などの電気出力に変換します。

圧力センサーは以下の分野で広く使用されています。

  • 産業オートメーション

  • 油圧および空圧システム

  • 自動車製造

  • 医療機器

  • 水処理システム

  • 石油およびガス産業

  • 航空宇宙機器

  • HVAC システム

アプリケーションに応じて、圧力センサーは以下を測定します。

  • ゲージ圧

  • 絶対圧力

  • 差圧

  • 真空圧力

すべての圧力センサーの中核は、圧力変化に物理的に反応する感知要素です。

圧力センサーの主な動作原理

圧力センサーが異なれば、測定を実行するために異なる物理的効果が使用されます。以下は、現在使用されている最も一般的な圧力センサー技術です。

1. ひずみゲージ式圧力センサー


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ひずみゲージ圧力センサーは、産業環境で最も広く使用されている圧力検出技術の 1 つです。

その動作原理は材料の変形に基づいています。

センサー内部では、ひずみゲージが金属ダイヤフラムまたは弾性体に接着されています。圧力がかかるとダイヤフラムはわずかに変形します。この変形により、ひずみゲージの電気抵抗が変化します。

次に、抵抗変化がホイートストン ブリッジ回路を通じて検出され、変化が測定可能な電気信号に変換されます。

ひずみゲージ式圧力センサの大きな利点の 1 つは、その優れた剛性と耐久性です。安定した測定精度を維持しながら、非常に高い圧力に耐えることができます。

一部の頑丈な産業用モデルでは、15,000 bar もの高い圧力を測定できます。{0}

実際の応用例

鉄鋼製造に使用される大型油圧鍛造プレスでは、ひずみゲージ圧力センサーが金属成形中の油圧を継続的に監視します。

圧力が不安定になると、センサーは直ちに制御システムにフィードバックを送信し、機器の損傷を防ぎ、製品の一貫性を確保します。

これらのセンサーは次の分野でも広く使用されています。

  • 射出成形機

  • 建設機械

  • 工業用計量システム

  • 油圧シリンダ

  • 石油掘削装置

2. 静電容量式圧力センサー





静電容量式圧力センサーは、ひずみベースのセンサーとは動作が異なります。{0}

柔軟なダイヤフラムと固定プレートを使用してコンデンサを形成します。圧力が加わるとダイヤフラムとプレート間の距離が変化し、静電容量値が変化します。

測定回路はこの静電容量の変化を検出し、加えられた圧力に比例する電気信号に変換します。

静電容量センサーは感度が高く、特に低圧測定用途に効果的です。{0}

また、次のようなサービスも提供しています。

  • 応答速度が速い

  • 低消費電力

  • 高解像度

  • 優れた感度

ただし、通常は比較的低い圧力範囲 (多くの場合 40 bar 未満) に限定されます。

実際の応用例

医療用人工呼吸器では、容量性圧力センサーがリアルタイムで気道内圧を監視します。

このセンサーにより、患者は安定した気流と安全な呼吸補助を受けることができます。わずかな圧力偏差でも患者の安全に影響を与える可能性があるため、医療用途では高感度が不可欠です。

静電容量センサーは次の場合にも一般的です。

  • HVAC システム

  • スマート家電

  • 環境モニタリング

  • 高度測定装置

  • 半導体装置


3. ピエゾ抵抗圧力センサー


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ピエゾ抵抗圧力センサーは、コンパクトなサイズ、高感度、比較的低い製造コストを兼ね備えているため、非常に人気があります。

これらのセンサーは通常、半導体ひずみゲージと統合されたシリコン ダイヤフラムを使用します。

圧力によりシリコンダイヤフラムが変形すると、電気抵抗が大きく変化します。ホイートストン ブリッジ回路はこれらの変化を検出し、比例した電気信号を出力します。

シリコンには強力なピエゾ抵抗特性があるため、これらのセンサーは非常に小さいサイズでも優れた感度を実現できます。

実際の応用例

最新の自動車では、車両全体に複数のピエゾ抵抗圧力センサーが使用されています。

例えば:

  • タイヤ空気圧監視システム (TPMS)

  • エンジン油圧監視

  • 燃料噴射システム

  • ブレーキ圧力システム

電気自動車では、冷却剤と冷媒の圧力を監視するために、バッテリーの熱管理システム内でも圧力センサーが使用されます。

これにより、バッテリーの安全性と温度安定性が向上します。

ピエゾ抵抗センサーは以下の分野で広く使用されています。

  • 産業オートメーション

  • スマートウォーターシステム

  • 農機具

  • エアコンプレッサー

  • ロボット工学

4. 共振圧力センサー

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共振圧力センサーは、抵抗や静電容量の変化ではなく、周波数の変化を使用します。

圧力が加えられると、共振要素に応力が発生し、その固有共振周波数が変化します。

センサー電子機器は周波数変化を測定し、対応する圧力値を計算します。

共振圧力センサーの大きな利点の 1 つは、その卓越した長期安定性と超高精度です。{0}{1}

周波数ベースの出力は、電気ノイズ干渉に対しても優れた耐性を備えています。-

実際の応用例

航空宇宙システムでは、極端な環境条件下で燃料圧力と客室圧力を監視するために共鳴圧力センサーが使用されます。

わずかな誤差でも飛行の安全性に影響を与える可能性があるため、航空機システムには安定性と信頼性の高い圧力測定が必要です。

これらのセンサーは次の用途にも使用されます。

  • 科学研究機器

  • 精密校正装置

  • 衛星システム

  • 臨床検査装置

ただし、共振圧力センサーは衝撃や振動に敏感なため、一部の産業環境では使用が制限されます。

5. 熱およびイオン化圧力センサー

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一部の圧力センサーはまったく異なる測定方法を使用します。

熱圧力センサーは、熱伝達特性を通じて間接的に圧力を測定します。ガス密度が変化すると、熱伝導率も変化します。

一方、イオン化圧力センサーは、ガス分子をイオン化し、イオン電流を測定して真空圧力を決定します。

これらの技術は主に真空および超高真空環境で使用されます。{0}{0}{1}

実際の応用例

半導体製造では、イオン化圧力センサーがウェーハ処理に使用される超清浄な真空チャンバーを監視します。-

微細な汚染でも数千ドル相当の半導体ウェーハに損傷を与える可能性があるため、正確な真空制御が不可欠です。

これらのセンサーは次の場合にも一般的です。

  • 粒子加速器

  • 科学研究所

  • 真空コーティングシステム

  • 宇宙シミュレーションチャンバー

現代産業において圧力センサーが重要な理由

圧力センサーは以下を改​​善するため重要です。

  • 安全性

  • プロセス制御

  • エネルギー効率

  • 自動化の精度

  • 設備の信頼性

圧力センサーがなければ、多くの最新の自動化システムは正しく機能しません。

例えば:

  • 油圧機械が過負荷になる可能性がある

  • 医療用人工呼吸器は安全でなくなる可能性がある

  • 自動車エンジンは効率を失う可能性がある

  • 水道システムが気付かないうちに漏れる可能性がある

インダストリー 4.0 とスマート製造が成長を続けるにつれて、圧力センサーはますますインテリジェントになり、接続されるようになっています。

最新の圧力センサーは以下をサポートするようになりました。

  • デジタル通信

  • 遠隔監視

  • IoTの統合

  • 無線伝送

  • 予知保全システム

適切な圧力センサーの選択

正しい圧力センサーの選択は、いくつかの要因によって決まります。

圧力範囲

テクノロジーが異なれば、サポートされる圧力制限も異なります。

精度要件

ハイエンドの産業用途では、非常に正確な測定が必要になる場合があります。{0}}

環境条件

温度、振動、湿気、腐食性媒体はすべてセンサーの選択に影響します。

メディアの互換性

センサーの材質は、測定対象の液体または気体と適合する必要があります。

設置スペース

コンパクトな機器には小型センサーが必要な場合があります。

出力信号

システムによっては、アナログ、デジタル、CAN バス、RS485、その他の出力が必要になる場合があります。

圧力センサーに関するよくある質問

圧力センサーの主な機能は何ですか?

圧力センサーは気体または液体の圧力を測定し、それを監視または制御システム用の電気信号に変換します。

どのタイプの圧力センサーが最も正確ですか?

共振圧力センサーは一般に、最も正確で安定した圧力センサー技術の 1 つであると考えられています。

圧力センサーを最も多く使用している業界は何ですか?

圧力センサーは、産業オートメーション、自動車製造、医療機器、航空宇宙、石油とガス、水処理、および HVAC システムで広く使用されています。

ピエゾ抵抗圧力センサーとひずみゲージ圧力センサーの違いは何ですか?

どちらの技術も変形による抵抗変化に依存していますが、ピエゾ抵抗センサーでは通常シリコンなどの半導体材料が使用され、ひずみゲージ センサーでは金属ダイヤフラムに取り付けられた金属箔ひずみゲージが使用されることがよくあります。

圧力センサーは防水ですか?

多くの産業用圧力センサーは、過酷な環境向けに防水または IP 定格のハウジングを備えて設計されていますが、保護レベルは特定のモデルによって異なります。{0}

圧力センサーは真空を測定できますか?

はい。特定の圧力センサー、特に熱およびイオン化圧力センサーは、真空および超-高-真空測定用に特別に設計されています。

圧力センサーの寿命はどのくらいですか?

-高品質の工業用圧力センサーは、指定された圧力範囲と環境条件内で適切に設置および動作させれば、長年にわたって使用できます。

圧力センサーの故障の原因は何ですか?

一般的な原因は次のとおりです。

  • 過圧

  • 腐食

  • 過度の振動

  • 電気的過負荷

  • 湿気の侵入

  • 不適切な取り付け

定期的な校正とメンテナンスにより、センサーの寿命を大幅に延ばすことができます。


産業の自動化とデータドリブン化が進むにつれて、圧力センサーはモニタリング、安全性、インテリジェントな制御システムにおいて中心的な役割を果たし続けることになります。{0}工場の油圧プレス、医療用人工呼吸器、半導体真空チャンバーのいずれにおいても、圧力センサーは依然として現代のエンジニアリングにおいて最も重要なセンシング技術の 1 つです。

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